(1)高刚度。包括静刚度和动刚度,除零、部件本身的刚度外,还应注意接触刚度,同时应考虑由工件、机床、刀具、夹具所组成的工艺系统刚度。精密机床和超精密机床虽然切削力不大,但机床受力变形将会造成精度上的很大影响。
(2)高精度。包括高的静精度和动精度,主要的性能指标有几何精度、运动精度(定位精度、重复定位精度)和分辨力等,如主轴回转精度、导轨运动精度、分度精度等,这些可以用检测设备检测出来的,比较著名的是雷尼邵精密检测以系列。现代的精密机床和超精密机床大多采用液体静压轴承或空气静压轴承的主轴和导轨,精密滚珠丝杠传动,配有微动工作台、误差补偿装置,实现微位移。对于高速回转的零件、部件都应进行动平衡。
(3)高自动化。为了保证加工质量,减少人为因素影响,现代精密机床和超精密机床多配置精密数控系统以实现自动控制,或采用计算机控制来实现适应控制、优化等以保证零件生产加工要求。
(4)高稳定性和保持性。设备在经过运输、仓储、安装调试后,在规定的工作环境下,使用过程中应能长时间保持精度、抗干扰、稳定地工作。
因此,加工设备应有良好的耐磨性、抗振性、热稳定性。
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